特殊气体供应系统-半导体灌装机系列-首贯（常州）智能科技有限公司
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专注智能灌
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发布日期：2024-07-19 浏览次数：622
BSGS/GC系统包括气体面板、气柜柜体和一个控制箱（手动系统除外） GC面板：主要作用在于将工艺气体的压力调节至工艺设备所需的压力，除去工艺气体中的有害杂质，在危急时刻立即关闭气动隔离阀， 在更换气体钢瓶时保护工艺气体输送管道的洁净度。 气柜柜体：气柜规体由2.6毫米的钢板焊接而成，表面涂有抗腐蚀的聚酯涂料。排风口用于连接客户的排风系统。气柜门由2.6毫米的 钢板及4.0毫米钢丝网、安全玻璃窗组装而成。可燃性气体可选消防喷淋头，68℃时自动工作喷水。柜体内的钢瓶靠架用于固定钢瓶。 可选的秤台用于监测液化性气体的重量。 控制箱：控制箱按不同功能由电源、PLC、触摸屏、电磁阀等组成。全自动控制箱通过采集PT、磅秤、UV/IR、温度传感等信号， 通过PLC判断对BSGS/GC设备进行操作。
BSGS/GC系统包括气体面板、气柜柜体和一个控制箱（手动系统除外） GC面板：主要作用在于将工艺气体的压力调节至工艺设备所需的压力，除去工艺气体中的有害杂质，在危急时刻立即关闭气动隔离阀， 在更换气体钢瓶时保护工艺气体输送管道的洁净度。 气柜柜体：气柜规体由2.6毫米的钢板焊接而成，表面涂有抗腐蚀的聚酯涂料。排风口用于连接客户的排风系统。气柜门由2.6毫米的 钢板及4.0毫米钢丝网、安全玻璃窗组装而成。可燃性气体可选消防喷淋头，68℃时自动工作喷水。柜体内的钢瓶靠架用于固定钢瓶。 可选的秤台用于监测液化性气体的重量。 控制箱：控制箱按不同功能由电源、PLC、触摸屏、电磁阀等组成。全自动控制箱通过采集PT、磅秤、UV/IR、温度传感等信号， 通过PLC判断对BSGS/GC设备进行操作。
